氬氣的主要作用是試樣激發時趕走火花室內的空氣，減小空氣對紫外光區譜線的吸收。主要是因為空氣中的氧氣、水蒸氣在遠紫外區具有強烈的吸收帶，對分析結果造成很大的影響，且不利于激發穩定，形成或加強擴散放電，激發時產生白點。因此必須要求氬氣的純度達到99.996%以上。
2、狹縫
光譜儀采用了一個復雜而又敏感的光學系統。光譜儀的環境溫度，濕度，機械振動，以及大氣壓的變化，都會使譜線產生微小的變化而造成譜線的偏移。氣壓和濕度變化會改變介質的折射率，從而使譜線發生偏移，濕度的提高不僅會使空氣的折射率增大，而且會對光學零件產生腐蝕作用，降底了儀器透光率，濕度一般應控制在55%-60%以下。溫度對光柵的影響主要改變光柵常數，使角色散率發生變化，產生譜線轉移。這些變化會使光譜線不能完全對準相應的出射狹縫，從而影響分析結果。因此光學系統每天至少調整一次，若室內溫度控制恒定.即使天氣變化不大，每周也要調整狹縫二次。
3、入射窗的透鏡
通向各室的透鏡，特別是通向空氣室的透鏡，由于試樣激發時吹氬，使得試樣曝光時產生的灰塵被吹至透鏡上而阻止了光線的透過，影響測定結果的準確性。因此要經常清洗，一般一周兩次，使其保持清潔，保證所有光線通過透鏡而進入光室進行測定。特別提醒的是，清洗透鏡后要多激發幾個廢樣，等強度穩定后再進行標準化操作，否則對分析質量造成影響。
4、激發臺
清洗激發臺的內表面，主要是避免殘留內壁的粉塵放電影響分析結果。通常每激發100—200次應清理一次。電極與激發面之間的距離，必須按極距要求調整好，如果與激發面的距離太大，試樣不易激發，如果電極與激發面的距離太小，曝光時放電電流太大，以致于與儀器各參數不相匹配，使測定結果與實際結果之間有差異，影響測定的準確性。因此必須將電極與激發面的距離調整準確，清洗激發臺和電極后一定要重視這個問題。
